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雙面研磨拋光機的主要功能

發布日期： 2021-04-08 瀏覽人數：

主要功能

雙面精密研磨拋光機可以對硅、氧化硅材料進行減薄以及拋光處理。實現對于加工后的粗糙硅表面進行減薄、平坦化以及二次平整的工藝步驟，以保證后續硅硅鍵合或者光刻工藝的順利進行。該設備的最終處理對象為不平整的硅表面、氧化硅表面，實現樣品的厚度減薄或實現表面平整化與拋光。

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